文章摘要:近年来，微电子和半导体技术的飞速发展对器件材料的散热要求越来越高。因具有热导率高等优异性能，AlN引起了广泛关注。以三聚氰胺、甲醛、勃姆石溶胶为起始原料，利用同步的溶胶凝胶转换与高分子聚合过程，使有机高分子的交联网络与无机勃姆石的凝胶网络相互作用缠结，得到碳源（三聚氰胺和甲醛单体）和铝源（勃姆石溶胶粒子）均匀混合的前驱体。该复合体系不仅抑制了铝源的粒子长大，同时也阻碍了氧化铝的相转变，使得氮化反应直接由γ-Al₂O₃开始，并在1300℃完全氮化为AlN，粒径小于30 nm。此外，该体系的碳热还原氮化反应的活化能仅为126 kJ·mol^-1，远小于传统固相法的360 kJ·mol^-1，说明该凝胶聚合法有效地提高了反应活性。

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论文DOI:10.13957/j.cnki.tcxb.2022.01.007

论文分类号:TQ174.6;TB383.3